勻膠烤膠機是針對半導體工藝生產中晶圓烘烤而設計的一款產品,采用新穎的數字式加熱設計,可以精準的控制表面溫度;堅固耐腐蝕的鋁合金面板,優異的導熱性可以滿足多種應用場景;數字式顯示器可迅速編碼準確控制溫度;獨立的防過熱電路設計,確保實驗安全。
1、旋轉速度:轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤勻膠機圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的大部分低端勻膠機只能提供轉速范圍,并不能標定實時的轉速。
2、真空吸附系統的構造
真空泵一定要無油的,壓力標定準確,國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。
3、材質的選擇
對于半導體化工行業的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,國產的大部分勻膠烤膠機采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟?。┎馁|。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。